Konferenzen

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Kirchner, R.; Teng, L.; Fischer, W.-J.: Bonded nanoimprint templates using perflourinated trichlorosilane monolayers as protection layers during template cleaning : Poster. In: MiktroSystemTechnik Kongress 2009, 12.-14.10..2009, Berlin (2009)

Conrad, H.; Schmidt, J.-U.; Pufe, W.; Zimmer, F.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.: Aluminum Nitride - a Promising and Full CMOS Compatible Piezo-electric Material for MOEMS Applications. In: Proc. of SPIE Europe Microtechnologies Conference vol. 7362 (2009), S. 736201–7362010

Kirchner, R.: Nanoimprinting for high aspect ratio optical microsystems. In: Vortrag, Industrie-Partner-Symposium TU Dresden at Semicon 2009 (2009)

Kirchner, R.: Nanoimprinting: Basics and Applications in Mircosystems Technology. In: Vortrag, Silicon Saxony e.V. - 3. Colloquium Halbleitertechnologie und Mikroelektronik (2009)

Modler, K.-H.; Pfeifer, G.; Hufenbach, G.; Modler, N.; Starke, E.: Integrierte drahtlose Sensornetzwerke in Compliantstrukturen mit einstellbarer anisotroper Eigenschaftscharakteristik. In: Tagungsband VDI-Wissensforum Mechatronik 2009, Komplexität beherrschen, Methoden und Lösungen aus der Praxis für die Praxis, Wiesloch 12. - 13. Mai 2009 (2009), S. 223–230

Grüger, H.; Egloff, T.; Puegner, T.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H.: Diffractive MEMS components, systems, and applications. In: Proc. of SPIE vol. 7319 (2009), S. 73190G–1 –73190G–9

Jung, D.; Kallweit, D.; Sandner, T.; Conrad, H.; Schenk, H.; Lakner, H.: Fabrication of 3D comb-drive microscanners by mechanically induced permanent displacement. In: Proc. of SPIE vol. 7208 (2009), S. 72080A–1– 72080A–11

Fischer, W.-J.; Pfeifer, G.: Integrierte Sensornetzwerke in Faserverbundwerkstoffen. In: Tangungsband 13. Dresdner Leichtbausymposium, 18.-19.Juni 2009 (2009)

Marschner, U.; Fischer, W.-J.; Jettkant, B.; Ruwisch, D.; Grätz, H.; Woldt, G.; Clasbrummel, B.: Excitation and Wireless Lock-In Measurement of Hip Prosthesis Vibrations for Loosening Detection. In: SENSOR+TEST Conference 2009, Nürnberg, 26.-28. May 2009 (2009)

Schütz, A.; Henning, S.; Heeg, J.; Adolphi, B.; Schwarz, C.; Litschke, H.; Wienecke, M.: Adhesive porous DLC-coatings by modified PECVD process. In: Proc. E-MRS Spring-Meeting, Strasbourg, 8.-12. Juni 2009 (2009)

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Philipp Wenskus
Letzte Änderung: 07.02.2018