Konferenzen

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S., Nawka; E., Erben; B., Adolphi; J.W., Bartha: Characterization of the initial growth of hafnium silicate films in dependence of process parameters and substrate materials. In: Proc. EMRS Fall-Meet., Warschau (PL) (2007)

S., Menzel; D., Reitz; U., Künzelmann; M., Albert; J.W., Bartha: Fabrication of Surface Acoustic Wave Structures with buried Copper IDTs using the Copper Damascene Process. In: Tag.-Bd. Int. Conf. Planarization/CMP Technology (ICPT) (2007), S. 479–485

S., Menzel; C., Hossbach; J., Thomas; M., Albert; T., Gemming; M., Stangl; S., Hampel: ALD of Ta-based Adhesion Layers for CNT-Cu Matrix Composite Film Growth. In: Proc. MSR Spring Meet., San Francisco (US) (2007)

Knobloch, J.; Lakner, H.; Schenk, H.; Wagner, M.: Photonic Microsystems at the Fraunhofer IPMS – a survey. In: 22. Symposium on Microelectronic Technologies and Devices 3.-6.9.07 Rio de Janeiro (auf CD) (2007)

Guillen, S.; Schelinski, U.; Duzynski, M.; Nauber, P.; Scholles, M.: IEEE 1394 Over Coax Bridge for Digital Multimedia Networks. In: Digest of Technical Papers, International Conference on Consumer Electronics IEEE Catalog Number: 07HC37849C (2007)

Zimmer, F.; Heberer, A.; Sandner, T.; Grüger, H.; Kenda, A.; Schenk, H.; Lakner, H.: Investigation and characterization of high-efficient NIR- scanning gratings used in NIR-micro-spectrometer. In: Proc. SPIE 6466 (2007), S. 646605–1–646605–10

Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.: NIR-Spektroskopie: Entwicklung eines miniaturisierten MOEMS-Spektrometer für den Einsatz im NIR-Bereich. In: Mikrosystemtechnik Kongress 15.-17.10.07 in Dresden (2007), S. 497–500

Wagner, M.; Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.-U.; Lakner, H.: Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegel-matrizen . In: Mikrosystemtechnik Kongress 15.-17.10.07 in Dresden (2007), S. 1053–1056

Scholles, M.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberg, M.; Bräuer, A.: Miniaturisierte Laserprojektionssysteme basierend auf zweidimensionalen resonanten Mikroscannerspiegeln. In: Mikrosystemtechnik Kongress 15.-17.10.07 in Dresden (2007), S. 1025–1028

Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, M.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberg, M.: Ultra compact laser projection systems based on two-dimensional resonant micro mirrors. In: Proc. SPIE 6466 (2007), S. 64660A–1–64660A–12

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Philipp Wenskus
Letzte Änderung: 07.02.2018