Konferenzen 331 bis 340 von 428 EinträgenAlbert, M.; Strobel, C.; Kuske, J.; Bartha, J.W.: High rate deposition of amorphous silicon thin film solar cells (120nm/min) with a VHF-PECVD inline deposition system. In: 23rd European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1.-5. Sept. 2008, Valencia, Spain (2008)Albert, M.; Strehle, S.; Schmidt, D.; Knaut, M.; Hossbach, C.; Rößler, T.; Bartha, J.W.; Gluch, J.; Menzel, S.; Schröder, U.; Hintze, B.: Metal and Insulator layers for DRAM applications. In: GerALD2008, Sept. 22-23, Halle (2008)Landgraf, R.; Naumann, A.; Kirchner, R.; Fischer, W.-J.: Photonic Biosensing based on Microring-Resonators. In: Max Bergmann Symposium 2008 (2008)Kirchner, R.; Adolphi, B.; Richter, K.; Fischer, W.-J.: Reduced PDMS swelling in toluene and acrylates by C4F8 plasma fluorination. In: Max Bergmann Symposium 2008 (2008)Schmidt, D.; Knaut, M.; Albert, M.; Hintze, B.; Bartha, J.W.: TAPEDIS - a liquid halide ALD Precursor for depositing Ta-N bases thin films. In: Agent. Proc. AVS Conf. Bruges (B) avail, online (2008)Schmidt, D.; Hossbach, C.; Menzel, S.; Thomas, J.; Teichert, S.; Hintze, B.; Wilde, L.; Albert, M.; Bartha, J.W.: Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride Based Thin Films. In: Agent. Proc. MAM Conf., Dresden (D) avail, online (2008)Hossbach, C.; Schmidt, D.; Albert, M.; Adolphi, B.; Bartha, J.W.: Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride using TBTDET and Atomic Hydrogen. In: Baltic ALD Conference, Oslo, Norwegen (2007)Türke, A.; Pich, A.; Adler, H.-J.; Fischer, W.-J.: Conducting Silver Hybrid Particles. In: European Polymer Congress 2007 (EPF-2007), Bernardin Congress Centre, Portoroš, Slovenia, 2.-6.7.2007 Book of Abstracts, P6.4.18 (2007)Türke, A.; Pich, A.; Adler, H.-J.; Fischer, W.-J.: Conducting Silver Hybrid Particles for RFID Application. In: Proceedings Mikrosystemtechnik Kongress 2007 (2007), S. 821K.-U., Roscher; W.-J., Fischer; J., Landgraf; G., Pfeifer; E., Starke: Sensor Networks for Integration into Textile-Reinforced Composites. In: Proc. Transducer ’07 & Eurosensors XXI, Lyon (F), 10.-14.06.2007 (2007), S. 1589–1592Zurück 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 WeiterDiese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.