Röntgennanolinsen
Kooperation mit DESY Hamburg PETRA III: Entwicklung und Herstellung von refraktiven Röntgennanolinsen aus Silizium für deren Einsatz in der analytischen Röntgen-Rastermikroskopie
Für ein Röntgen-Rastermikroskop bei PETRA III wurden refraktive Röntgennanolinsen (NFLs) aus Silizium weiterentwickelt und erstmals adiabatisch fokussierende Linsen (AFLs) und refraktive Lamellarlinsen (RLL) aus Al-Oxid (ALD Abscheideverfahren) hergestellt, die die Fokussierung harter Röntgenstrahlung in den sub-20 nm Bereich erlauben sollen.
Dieses Mikroskop ist für eine Reihe von naturwissenschaftlichen Themen in der Chemie und Physik, Biomedizin, Geo- und Umweltwissenschaften bis hin zu den Materialwissenschaften und zur Nanotechnologie interessant. Ablaufende Prozesse können orts- und zeitaufgelöst charakterisiert werden.
Die größte Herausforderung für die Herstellung der refraktiven Linsen besteht in der sehr großen Anzahl von Linsen und in den extrem hohen Qualitätsansprüchen an jede Einzellinse (hohes Aspektverhältnis, Oberflächenrauigkeit, Maßgenauigkeit und Maßhaltigkeit).
Röntgennanolinsen - AFL
Röntgennanolinsen - RLL
Weitere Informationen: Dr. Christian Wenzel