Professur für Halbleitertech­nik

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Wichtige Themen im Überblick

Focused Ion Beam © IHM/TUD

Professur Halbleitertechnik

Die Professur Halbleitertechnik beschäftigt sich mit den Technologien und Werkstoffen der Mikro- und Nanolelektronik sowie der damit verbundenen Prozessintegration. Es geht um das Zusammenspiel von Fertigungsprozessen mit Dünnschichtmaterialien und den resultierenden Bauteileigenschaften. Als Beispiel sei hier die Mehrebenen-Kupferverdrahtung in modernen integrierten Schaltkreisen genannt. Hier treten die speziellen dielektrischen Eigenschaften des Isolators mit den spezifischen Prozesseigenschaften vom Reaktiven Ionenätzen, Physikalischer Dampfphasenabscheidung, Galvanischer Beschichtung und Chemisch-mechanischem Polieren in Wechselwirkung. Die komplexen Auswirkungen zeigen sich erst im elektrischen Verhalten. Das hierfür erforderliche Know-how erstreckt sich über einen breiten Bereich der Natur- und Ingenieurwissenschaften.

Die Professur unterhält hierfür auf 400m2 ein modernes Reinraumlabor, welches zum Teil Industriestandards übertrifft. Auch wenn die Ausstattung des Reinraums für „On-Chip-Interconnects“ konzipiert wurde, bearbeitet die Arbeitsgruppe von Prof. Bartha auch Projekte zu Waferbasierter Aufbau und Verbindungstechnik (Flip-Chip-Bumping, Trough Silicon Via Technik, 3-D-Integration), MEMS und optoelektronischen Bauelementen, Graphen basierten Prozessen oder Si-basierten Dünnschichtsolarzellen. Einen breiten Raum nehmen Untersuchungen von Atomlagen-Abscheideprozessen (ALD) ein, die hier mit einer einzigartigen Kombination von in-situ-Oberflächen- und Schichtanalytik erforscht wird.

Ergänzt wird die Ausstattung um ein „Dual-Beam-FIB“, welches sowohl zur Analyse als auch zur Gestaltung von Mikro- und Nanostrukturen eingesetzt wird.

Die Ausstattung steht als Forschungsdienstleistung einem breiten Nutzerkreis zur Verfügung.

Aktueller Hinweis
Die Website der Professur für Halbleitertechnik befindet sich derzeit noch im Aufbau.