Publikationen

2011

• Evaluation of the electrical and physical properties of thin calcium titanate high-k insulators for capacitor applicationsKrause, A., Weber, W., Jahn, A., Pohl, D., Rellinghaus, B., Schroeder, U., Heitmann, J. & 1 weitere, 1 Jan. 2011, in:  Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena. 29, 1Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel
• Analysis of the effect of germanium preamorphization on interface defects and leakage current for high-k metal-oxide-semiconductor field-effect transistorRoll, G., Jakschik, S., Goldbach, M., Wachowiak, A., Mikolajick, T. & Frey, L., Jan. 2011, in:  Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena. 29, 1, S. 01AA051-01AA055Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel
• Applicability of molecular beam deposition for the growth of high-k oxidesGrube, M., Martin, D., Weber, W. M., Mikolajick, T., Bierwagen, O., Geelhaar, L. & Riechert, H., Jan. 2011, in:  Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena. 29, 1, S. 01AC051-01AC053Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel
• Macroscopic and microscopic electrical characterizations of high-k ZrO ₂ and ZrO₂/Al₂O₃/ZrO₂ metal-insulator-metal structuresMartin, D., Grube, M., Weinreich, W., Müller, J., Wilde, L., Erben, E., Weber, W. M. & 4 weitere, Jan. 2011, in:  Journal of vacuum science & technology : JVST ; B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena. 29, 1, S. 01AC021-01AC028Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel
• Direct Probing of Schottky Barriers in Si Nanowire Schottky Barrier Field Effect TransistorsGeelhaar, L., Grube, M., Heinzig, A., Martin, D., Mikolajick, T., Riechert, H. & Weber, W. M., 2011, in: Physical review letters. 107, 21, 216807Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel
• Ferroelectricity in yttrium-doped hafnium oxideBoscke, T. S., Bottger, U., Frey, L., Kucher, P., Lemberger, M., Mikolajick, T., Muller, I. & 4 weitere, 2011, in: Journal of applied physics. 110, 114113 Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel
• Ferroelectric Zr0.5Hf0.5O2 thin films for nonvolatile memory applicationsMüller, J., Böscke, T., Bräuhaus, D., Schröder, U., Böttger, U., Sundqvist, J., Kcher, P. & 2 weitere, 2011, in: Applied physics letters. 99, 11, 112901 Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel
• Low temperature CVD growth of graphene nano-flakes directly on high K dielectricsRümmeli, M. H., Bachmatiuk, A., Dianat, A., Scott, A., Bor̈rnert, F., Ibrahim, I., Zhang, S. & 3 weitere, 2011, Fundamentals of Low-Dimensional Carbon Nanomaterials. S. 19-24, 6 S.Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Buch/Konferenzbericht/Sammelband/Gutachten > Beitrag in Konferenzband
• Optical characterization of three-dimensional structures within a DRAM capacitorKrupinski, M., Kasic, A., Hecht, T., Klude, M., Heitmann, J., Erben, E. & Mikolajick, T., 2011, Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII. 80823YElektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Buch/Konferenzbericht/Sammelband/Gutachten > Beitrag in Konferenzband
• Phase transitions in ferroelectric silicon doped hafnium oxideBoscke, T. S., Bottger, U., Brauhaus, D., Mikolajick, T., Muller, J., Schroder, U. & Teichert, S., 2011, in: Applied physics letters. 99, 112904 Elektronische (Volltext-)VersionPublikation: Beitrag in Fachzeitschrift > Forschungsartikel