Die Forschungsprojekte am Lehrstuhl für Nanoelektronik umfassen im wesentlichen die Mikro- und Nanostrukturierung von Halbleitern, Isolatoren und Metallen sowie die zugehörige Analytik. Die technische Ausstattung im Reinraum des Instituts ermöglicht die Realisierung von Teststrukturen, wobei alle wesentlichen Technologien der Vakuumbeschichtung von Metallen und Isolatoren, des Trocken- und Naßätzens, der elektrochemischen Beschichtung und des chemisch-mechanischen Polierens vorhanden sind.