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Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2006
Vermerk
keiner
Band/Vol.
6114
Seiten
61140L-1-61140L-8
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
www.spie.org/press
Berichtsjahr
2006
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