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Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIR-Spektrometer
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Mikrosystemtechnik Kongress, 15.-17.10.07 in Dresden
Verlag
VDE Verlag GmbH Berlin-Offenbach
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Vermerk
keiner
Seiten
485-488
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2007
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