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3D Hybrid Capacitance Model for Angular Vertical Comb Drives
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
ESTC 2008, 2nd Electronics System-Integration Technology Conference
Verlagsort
Greenwich (UK); New York, NY: IEEE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Institution
IEEE
Referiert
Ja
ISBN
978-1-4244-2814-4
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
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