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Technology development for micromirror arrays with high optical fill factor and stable analogue deflection integrated on CMOS substrates
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Band/Vol.
6993
Seiten
69930D-01-69930D-08
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
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