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Aluminum Nitride - a Promising and Full CMOS Compatible Piezo-electric Material for MOEMS Applications
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. of SPIE Europe Microtechnologies Conference
Schlagwörter
piezoelectric material, MOEMS application
Verlag
SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Vermerk
keiner
Band/Vol.
vol. 7362
Seiten
736201-7362010
Institution
SPIE
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
Export