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Diffractive MEMS components, systems, and applications
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. of SPIE
Schlagwörter
MEMS components
Verlag
SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Band/Vol.
vol. 7319
Seiten
73190G-1 -73190G-9
Institution
SPIE
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
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