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Fabrication of 3D comb-drive microscanners by mechanically induced permanent displacement
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. of SPIE
Schlagwörter
3D- Microscanner
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Band/Vol.
vol. 7208
Seiten
72080A-1- 72080A-11
Institution
SPIE
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
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