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Single crystal silicon micro mirrors
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Physica Status Solidi C 6
Schlagwörter
micro mirrors
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Heftnummer/Issue
3
Seiten
728-735
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
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