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Integrated position sensing for 2D micro scanning mirrors using the SOI-Device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
SPIE Proc. of Photonics West
Schlagwörter
2D micro scanning mirror
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Band/Vol.
vol. 7208
Seiten
720808-1-720808-10
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
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