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Modellgestützte Bewegungsführung von quasistatischen Mikroscannern
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Tagungsband Fachtagung Mechatronik 2013
Schlagwörter
Microscanner technical optics
Verlagsort
Aachen, Germany
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Band/Vol.
6.-8.3.2013
Seiten
141-146
Referiert
Ja
Open Access
Nein
ISBN
3-86130-958-0
Berichtsjahr
2013
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