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Spatial light modulators with monocrystalline silicon micromirrors made by wafer bonding
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Band/Vol.
vol. 5715
Seiten
69-79
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2005
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