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Stress optimization of a micromechanical torsional spring
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Technical Proceedings of the 2005 Nanotechnology Conference and Trade Show
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Band/Vol.
vol. 3
Seiten
602-605
Institution
NSTI-Nanotech
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2005
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