Publikationen Archiv: 2015 |2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 31 bis 40 von 93 EinträgenConrad, H.; Schmidt, J.-U.; Pufe, W.; Zimmer, F.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.: Aluminum Nitride - a Promising and Full CMOS Compatible Piezo-electric Material for MOEMS Applications. In: Proc. of SPIE Europe Microtechnologies Conference vol. 7362 (2009), S. 736201–7362010Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.: Eine Reinkarnation in der Strukturmechanik. In: CAD-CAM Report (2009), Nr. 4, S. 16–19Schenk, H.; Sandner, T.; Drabe, C.; Klose, T.; Conrad, H.: Single crystal silicon micro mirrors . In: Physica Status Solidi C 6 (2009), Nr. 3, S. 728–735Grüger, H.; Egloff, T.; Puegner, T.; Scholles, M.; Schenk, H.; Lakner, H.: Diffractive MEMS components, systems, and applications. In: Proc. of SPIE vol. 7319 (2009), S. 73190G–1 –73190G–9Jung, D.; Kallweit, D.; Sandner, T.; Conrad, H.; Schenk, H.; Lakner, H.: Fabrication of 3D comb-drive microscanners by mechanically induced permanent displacement. In: Proc. of SPIE vol. 7208 (2009), S. 72080A–1– 72080A–11Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H.: Integrated position sensing for 2D micro scanning mirrors using the SOI-Device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer. In: SPIE Proc. of Photonics West vol. 7208 (2009), S. 720808–1–720808–10Duzynski, M.; Guillen, S.; Nauber, P.; Schelinski, U.; Scholles, M.: Digital Transmission of Multimedia Streams over Legacy Coax Cable Networks. In: ISCE 2008 IEEE Catalog Number: CFP08461-CDR (2008)Conrad, H.; Klose, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.: Actuating Methods of Quasistatic Micromirrors for Active Focus Variation . In: IEEE CFP08831-PRT (2008), S. 7–11Scholles, M.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Knobbe, J.; Lakner, H.; Schlebusch, D.; Schwarzenberg, M.; Vogel, U.: Recent advancements in system design for miniaturized MEMS-based laser projectors . In: Proc. SPIE 6911 (2008), S. 69110U–1–69110U–12Schmidt, J.-U.; Friedrichs, M.; Bakke, T.; Voelker, B.; Rudloff, D.; Lakner, H.: Technology development for micromirror arrays with high optical fill factor and stable analogue deflection integrated on CMOS substrates . In: Proc. SPIE 6993 (2008), S. 69930D–01–69930D–08Zurück 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 WeiterDiese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.