Dünne Schichten
Dr.rer.nat. C. Wenzel/Prof.Dr.rer.nat. J. W. Bartha
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Modul Angewandte Dünnschicht- und Solartechnik (ET-121203)
- Zeit: Dienstag, 2. DS
- Ort: Mierdel-Bau 116
- Beginn: 12.04.2022
Vorausgesetze Kenntnisse
- Vordiplom
- Werkstoffe II und Halbleitertechnik
Ziel des Lehrfaches
Es werden die Wirkmechanismen der Kondensation von dünnen Schichten, ihre prinzipiell geänderten Eigenschaften im Vergleich zu Kompaktmaterialien und das enge Wechselverhältnis zwischen Herstellungstechnologie und möglichen Schichteigenschaften behandelt.
Inhalt des Lehrfaches
Vorlesungen
- Funktionale Einteilung dünner Schichten
- Erzeugung dünner Schichten
- Schichtwachstum (Keimbildung, polykristalline Schichten, Epitaxie)
- Aufbau (Realstruktur und Gefüge) dünner Schichten
- Oberflächen und Grenzflächen dünner Schichten
- Größeneffekt in dünnen Schichten
- Diffusionsprozesse in dünnen Schichten/Alterung
- Eigenschaftsveränderungen durch Wärmebehandlung, Eigenschaftsveränderungen durch Implantation
- Methoden der Charakterisierung dünner Schichten
- Anwendungen dünner Schichten in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Praktikum
- Besuch in den Beschichtungslaboren der FhG IWS und FEP
- Praktika an Beschichtungsanlagen des IHM (wird individuell geplant)