LV Dünnschichttechnologien
LV Nanotechnologien
| für Studium | Werkstoffwissenschaften, 9. Semester |
| Modul | WW-G12 |
| Dozent | Prof. Dr.-rer.nat. A. Leson |
| Ansprechpartner | Dipl.-Ing. A. Richter, Zeu 317 |
| Umfang | 2/0/0 |
| Prüfung | schriftlich/ohne Hilfsmittel/1DS |
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Termine/Turnus |
nur im WS, Start jeweils im Oktober |
| Lehrmaterial | siehe Einführungsvorlesung und Downloads |
- Link zum Vorlesungsplan
- Link zum Vorlesungsdownload
Inhalt
Einführung, Flüssigphasenbeschichtung
- PVD1 (PVD, Bedampfen, Vakuum)
- PVD 2 (Plasma, Sputtern, Arc, aktivierte Beschichtung)
- CVD
- Schichtwachstum
- Verschleißschutzschichten
- Nanoschichten
- Kohlenstoffschichten
- Optische Schichten
- Photovoltaik
- Mikroelektronik-Schichten
- Mechanische Schichtcharakterisierung
- Optische Schicht- und Prozesscharakterisierung
- Aktuelle Entwicklungen in der Dünnschichttechnologie
- Laborbesichtigung im Fraunhofer IWS Dresden zur Dünnschichttechnologie