Electron Backscatter Diffraction

Das Verfahrensprinzip zur Herstellung von EBSD-Aufnahmen erfordert einen Punktstrahl sowie eine ebenfalls raumfest angeordnete, in Detektorrichtung um 70° geneigte Probe. Quasielastisch gestreute Elektronen, die unter dem Braggwinkel auf die Netzebenen der Probe treffen, werden von diesen reflektiert und beschreiben einen weit geöffneten Kegel mit dem halben Öffnungswinkel 90°-theta. Als Projektion der Kegel auf die Detektorebene erscheinen die EBSD-Linien.

Mit Hilfe der EBSD-Technik ist es möglich, in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) schnelle automatisierte Kornorientierungsbestimmungen und somit Texturanalysen von der Oberfläche kompakter Proben durchzuführen. Die für die Auswertung entwickelten Softwareprogramme erlauben weiterhin eine Visualisierung der Orientierungsdaten, z.B. durch unterschiedliches „Einfärben“ verschieden orientierter Körner im REM-Oberflächenbild. Aufgrund der im REM erreichbaren extrem hohen lateralen Auflösung können beim automatischen Abscannen nahezu lückenlos Orientierungsdaten eines zusammenhängenden Probengebietes erfasst, ausgewertet und visuell dargestellt werden (OIM: Orientation Imaging Microscopy). Auch Orientierungsunterschiede (Missorientierungen) zwischen benachbarten Körnern sowie deren Sigma-Korngrenzen lassen sich berechnen und im Bild markieren. Die Ortsauflösung beträgt 50 nm und besser.

Im Röntgenographischen Speziallabor ist in einem multifunktionalen System die EBSD-Technik gemeinsam mit dem KOSSEL-Verfahren in einem REM gekoppelt worden (vgl. KOSSEL-Technik).

Untersuchungsbeispiele aus unserem Labor:

• Orientierungsbestimmung der Einzelkörner in MappingsBestimmung der Kristallitgrößen
• Korngrenzenanalyse
• Texturanalyse
• Versetzungsdichteabschätzung in Kopplung mit der KOSSEL-Technik

EBSD-Untersuchungen zur Charakterisierung des Sinterkontakts von silberbeschichteten Kupfer-Drähten

Korngrenzenuntersuchungen an einer Koinzidenzkorngrenze in Silber