Verbesserte Layout- und Steuerungskon­zepte von automatischen Transportsyste­men in komplexen 28nm-Halbleiterfer­tigungen (VEKOTRANS)

Teilthema:
„Effizienzsteigerung bestehender Transportsysteme in derHalbleiterindustrie durch Verbesserung des Layouts und der Fahrzeugsteuerung“ (Trans+)

Aufgrund des vollautomatisierten Transports der Wafer müssen diverse Anforderungen der Fertigungsanlagen in Bezug auf die Materialbereitstellung vom AMHS erfüllt werden. So müssen zum einen das Leerlaufen von Engpassfertigungsgeräten und zum anderen die wesentliche Verlängerung der Losdurchlaufzeit durch den Transportprozess vermieden werden. Das Schienenlayout und das Transport- und Lagersteuerungssystem werden zunehmend komplexer. Die folgenden drei Teilprojekte sollen die Voraussetzungen schaffen, um in Zukunft die steigenden Anforderungen an das AMHS zu realisieren:

• TP1: Verbesserung des derzeitigen Leerfahrzeugverteilungsansatzes
  Die Transportsysteme benötigen eine sinnvolle Verteilung der Leerfahrzeuge. Diese dürfen einerseits keine Transporte durch zu hohes Aufkommen behindern, ein Mangel sorgt jedoch andererseits für zu lange Wartezeiten abholbereiter FOUPs. Eine Verbesserung des Leerfahrzeugverteilungsansatzes soll die Fahrzeugressourcen besser ausnutzen.

• TP2: Fahrstreckenverfolgung der Fahrzeuge und deren Abgleich mit Umleitungsgründen
  Die genaue Route zwischen Quelle und Senke für einen Auftrag wird innerhalb der Fahrzeuge berechnet. Unabhängig davon, ob das jeweilige Fahrzeug leer oder beladen ist, verwenden die Fahrzeuge einen Dijkstra- Algorithmus zum Errechnen der kürzesten Route. Es soll untersucht werden, inwiefern Abweichungen von Routen systematisch und erklärbar sind.

• TP3: Untersuchung alternativer Streckenführungen bei AutomatisierungslösungenBisher waren bei der Layoutsuche für Halbleiterfabriken traditionelle Layoutansätze das Mittel der Wahl. Dabei wurde aus einer Art Baukasten vom Hersteller bereitgestellter typischer Schienenführungen ein Layout zusammengesetzt. Im Teilprojekt soll untersucht werden, inwiefern andere Layoutvarianten geeignet sind, um Hauptverkehrsströme zu entflechten und somit kritische Punkte im Layout zu entlasten

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TU Dresden, Fakultät Maschinenwesen, Professur für Technische Logistik

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