Erhöhung der Elektromigra­tionsrobustheit in der Verdrahtung digitaler Schaltungen

Die Zuverlässigkeit zukünftiger integrierter Schaltungen ist stark durch das Auftreten von Elektromigration (EM) gefährdet. Aus diesem Grund muss ein Paradigmenwechsel vollzogen werden, welcher das bisherige Verifizieren der EM-Robustheit nach der Erstellung des Layouts durch eine proaktive EM-robuste Layoutgenerierung ersetzt. Die dafür notwendigen Anpassungen und Neuentwicklungen in der Verdrahtung digitaler Schaltungen sind Thema dieses Vortrages. Dieser führt in die Thematik der EM ein und stellt geeignete Analysemethoden, Gegenmaßnahmen und Ergebnisse einer EM-robusten Verdrahtung vor.