Serviceleistungen

3D-Druck von Mikrostrukturen als Master Mold für weiche Lithografie
Dünnfilmabscheidung (Spin Coating)
Design und Herstellung eines Master-Templates (Fotolithografie)
Stufenhöhen- und Rauheitsmessungen (Profilometer)
Design und Herstellung von mikrostrukturierten Polymeroberflächen (Soft-Lithografie auf Elastomeren)
Design und Herstellung von Mikroelektroden Arrays (MEA), (Fotolithografie, thermische Verdampfung, Lift-Off)
Design, Herstellung und Optimierung von Mikrofluidik-Chips
Design und Herstellung eines Stempels für die UV- Nanoimprinting Lithografie (UV-NIL)
Design und Herstellung eines Stempels für den Mikrokontakt-Druck (µCP)
Oberflächenmikrostrukturierung mit Proteinen
PDMS/PDMS, PDMS/Glass, PDMS/SU8 Verbindungen
Steuerung der Benetzungseigenschaften von Oberflächen durch chemische oder physikalische Prozesse (hydrophob/hydrophil)
Oberflächenfunktionalisierung (Anti-Sticking-Layer)

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