Forschung am Lehrstuhl Halbleitertech­nik

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Gegenstand der Untersuchungen am IHM sind die Mikro- und Nanostrukturierung von Halbleitern, Isolatoren und Metallen und die damit verbundenen elektrischen, mechanischen und thermischen Effekte. Die technische Ausstattung im Reinraum des Instituts ermöglicht die Realisierung von Teststrukturen, wobei alle wesentlichen Technologien der Vakuumbeschichtung von Metallen und Isolatoren, des Trocken- und Naßätzens, der elektrochemischen Beschichtung und des chemisch-mechanischen Polierens vorhanden sind.

Atomlagen­abscheidung (ALD) und Atomlagenätzen (ALE)

• Grundlegende Untersuchungen zum Schichtwachstum bei der Atomlagen­abscheidung von Dielektrika und Metallschichten
• Prozessentwicklung und Grundlagenforschung auf dem Gebiet des thermischen und plasmagestützten Atomlagenätzens
• Einsatz der Atomlagenabscheidung in der Nanotechnologie

Speicherzellen

• Hafniumoxid und Zirkonoxid basierende Isolatorschichten für Speicherzellen (Verbundprojekt SOHAR)
• Materialentwicklung und –charakterisierung für Speicheranwendungen, realisiert durch eine Prozesslinie zur Herstellung von MIM-Kondensatoren (KONDOR)

Materialmodifizierung und Charakterisierung

• Untersuchungen des Einflusses einer RTP-Behandlung oder des Flash-Lamp-Annealings auf ohmsche und Schottky-Kontakte von Metallen mit p- und n-Halbleitern
• Kleinster spezifischer Kupferwiderstand in Nano-Leitbahnen (KUWANO)
• Elektrische Charakterisierung von SACVD-Schichten
• Poröse Ultra-Low-k-Dielektrika: Abscheidung, Ausheilung, Strukturierung, Planarisierung, Integration
• Simulationskonzept für 32-nm-CMOS-Technologien (SIMKON) zum Thema: Untersuchung chemischer und physikalischer Grenzflächenvorgänge während der Oxid-CMP

Verbindungstechnik

• Entwicklung einer Prozesskette für die Herstellung, die Verarbeitung und den Einsatz von beschichteten Bonddrähten

Solarzellen

• Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium pin–Solarzellen mittels einer VHF–PECVD–Durchlaufanlage

Biowissenschaften

• Laser-Stretching in opto-fluidischen Mikrosystemen - Ein neues Verfahren zur Zelldiagnose und Zellseparation im Life-Science-Bereich