Forschung

Forschung im Bereich Halbleitertechnik

Die Forschungsprojekte am Lehrstuhl für Halbleitertechnik umfassen im wesentlichen die Mikro- und Nanostrukturierung von Halbleitern, Isolatoren und Metallen sowie die zugehörige Analytik. Die technische Ausstattung im Reinraum des Instituts ermöglicht die Realisierung von Teststrukturen, wobei alle wesentlichen Technologien der Vakuumbeschichtung von Metallen und Isolatoren, des Trocken- und Naßätzens, der elektrochemischen Beschichtung und des chemisch-mechanischen Polierens vorhanden sind.
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Forschung im Bereich Mikrosystemtechnik

Der Lehrstuhl Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit der funktionalen Verknüpfung einzelner Mikrotechniken zu Mikrosystemen unter Anwendung verschiedener Systemtechniken. Technisch werden dabei Sensor, Aktor und Datenverarbeitung auf einem Chip (monolithische Integration) oder Substrat (Hybridintegration) integriert. Forschungsschwerpunkte liegen beim Entwurf, der Simulation, den Fertigungstechniken und der Messung von organischen Halbleiterbauelementen, intelligenten Sensoren, Gassensoren, SAW-Bauelemente sowie der Energieversorgung von Mikrosystemen.
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Forschung im Bereich Optoelektronische Bauelemente und Systeme

Die Professur für Optoelektronische Bauelemente und Systeme widmet sich insbesondere den Grundlagen und Fertigungstechniken der Herstellung von innovativen Produkten wie z.B. OLEDs, Mikrospiegelarrays und MOEMS-Scannerspiegel. Hauptschwerpunkte bilden hierbei die Verfahren zur jeweiligen technologischen Umsetzung.
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