Professur Halbleitertechnik
Die Professur Halbleitertechnik beschäftigte sich mit den Technologien und Werkstoffen der Mikro- und Nanolelektronik sowie der damit verbundenen Prozessintegration.
Mitarbeiter, Know-How und technische Einrichtung, z.B. das Reinraumlabor, sind in der Professur Nanoelektronik aufgegangen.