Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
ALD of Ta-based Adhesion Layers for CNT-Cu Matrix Composite Film Growth
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. MSR Spring Meet., San Francisco (US)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2007
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente