Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Characterization of the initial growth of hafnium silicate films in dependence of process parameters and substrate materials
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. EMRS Fall-Meet., Warschau (PL)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2007
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Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente