Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Metalorganic Atomic Layer Deposition of low-resistive and highly conformal Ta-N-C thin films
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
AVS ALD 2008, 01.7.2008, Brügge, Belgien
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
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Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente