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In-situ characterization of ruthenium and ruthenium dioxide film growth
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceeding of Baltic ALD / GerALD Conference 2010, Hamburg, Germany
Schlagwörter
ALD, ruthenium, in-situ analytics, XPS, QMS, SE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Referiert
Ja
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2010
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