Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Morphological and Topological Effects during the CMP of Aluminium
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
LEVITRONIX Ultrapure User Conference 2013 and 29th European CMP Users Meeting Spring 2013, Zurich/Switzerland, April 11-12, 2013
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2013
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente