Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
In-situ QCM monitoring of ALD in porous materials
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Baltic ALD 2014, Helsinki, Finland
Schlagwörter
ALD, QCM, porous materials, in-situ, Al2O3, TiO2, film growth, process integration
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2014
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente