Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Top Injection Reactor Tool with in situ Spectroscopic Ellipsometry for growth and characterization of ALD thin films
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Band/Vol.
85
Seiten
527-533
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2007
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente