Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Characterization of ALD Hf-Y-O
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
ALD conference, 2008, Brügge
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente