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Investigation of the influence of oxygen plasma on the copper surface
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Posterbeitrag zur 12th International Conference on Plasma Surface Engineering PSE 2010 13. - 17. 9. 2010, Garmisch-Partenkirchen; Proceedings PSE 2010
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2010
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