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Evaluation of the Novel Iridium Precursor Ir(EtCp)(MeCHD) for ALD of Iridium Thin Films
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceeding of Baltic ALD / GerALD Conference 2010, Hamburg, Germany (2010)
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2010
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Journals | Conferencens | Books | Patents