Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Tantalum Nitride using TBTDET and Atomic Hydrogen
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Baltic ALD Conference, Oslo, Norwegen
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2007
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente