Publications

Henke, T. ; Geidel, M. ; Knaut, M. ; Albert, M. ; Bartha, J.W.

Flash-ALD - A Novel Approach for Atomic Layer Controlled Growth of Thin Films Induced by Flash Heating

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Proceedings of AVS 11th International Conference on Atomic Layer Deposition, June 26 – 29, 2011, Cambridge, Massachusetts, USA

Schlagwörter

Atomic Layer Deposition, Flash Heating

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2011

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Zugeordnete Forschungsschwerpunkte

Berichtsjahr

2011

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