Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
QCM sensors for advanced process development and control
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of 11th AVS ALD Conference, Cambridge, Massachusetts, USA
Schlagwörter
ALD, in-situ analytics, QCM, process control
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente