Publications
QCM sensors for advanced process development and control
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of 11th AVS ALD Conference, Cambridge, Massachusetts, USA
Schlagwörter
ALD, in-situ analytics, QCM, process control
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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