Publications

Junige, M. ; Geidel, M. ; Knaut, M. ; Albert, M. ; Bartha, J.W.

Basic investigations of ruthenium’s ALD growth initiation

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

AVS 12th International Conference on Atomic Layer Deposition : June 17 – 20, 2012, Dresden, Germany. Dresden, 2012

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2012

Band/Vol.

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Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2012

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