Publications

Leszczynska, B. ; Strobel, C. ; Leszczynski, S. ; Albert, M. ; Bartha, J.W. ; Stephan, U. ; Kuske, J.

High-rate deposition of silicon thin film layers using linear plasma sources operated at very high excitation frequencies (80-140 MHz)

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Proceedings of SPIE Optics + Photonics Conference, Thin Film Solar Technology IV, vol. 8470 (2012)

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2012

Referiert

Open Access

Nein

Url/Urn/Doi

Berichtsjahr

2012

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