Publications

Hossbach, C. ; Drees, M. ; Seiffert, D. ; Strehle, S. ; Junige, M. ; Albert, M. ; Bartha, J.W.

The Initial Growth of Tantalum Nitride ALD: A Comparative Quantum Chemical and In Situ Experimental Study

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

12th International Conference on Atomic Layer Deposition AVS-ALD & Baltic ALD 2012: June 18 – 20, 2012, Dresden

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2012

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2012

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