Publications

Knaut, M. ; Benner, F. ; Hoßbach, C. ; Geidel, M. ; Dirnstorfer, I. ; Albert, M. ; Bartha, J.W.

In-situ Growth Control für AlxTiyOz Films and Laminates

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

13th AVS conference on Atomic Layer Deposition, San Diego, CA, USA, 28.07.-31.07.2013

Schlagwörter

ALD, QCM, SE, XPS, in-situ, Al2O3, TiO2, film growth, process integration

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2013

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Zugeordnete Forschungsschwerpunkte

Berichtsjahr

2013

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