Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Fabrication and optical modeling of nanohybrid functional slanted columnar thin films
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-VI) : May 26-31, 2013 in Kyoto, Japan, 2013
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Band/Vol.
Vortrag
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2013
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente