Publications

Leszczynski, S. ; Leszczynska, B. ; Albert, M. ; Bartha, J.W. ; Stephan, U. ; Kuske, J.

Influence of the Excitation Frequency Increase up to 140 MHz on the VHF-PECVD Technology

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Proceedings of the COMSOL Conference, 23-25 October 2013, Rotterdam

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2013

Referiert

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2013

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