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Junige, M. ; Sharma, V. ; Schmidt, D. ; Albert, M. ; Schubert, M. ; Bartha, J. W.

Progress in Spectroscopic Ellipsometry for the in-situ real-time investigation of Atomic Layer Depositions

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

8th Workshop Ellipsometry, Arbeitskreis Paul Drude e. V. in Dresden, 10.-12.03.2014

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2014

Band/Vol.

Vortrag

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Url/Urn/Doi

DOI: 10.13140/2.1.4076.7689

Berichtsjahr

2014

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