Publikationen der Professur für Halbleitertechnik

Junige, M. ; Walther, T. F. ; Tanner, R. ; Albert, M. ; Bartha, J. W.

Growth kinetics and film properties of tantalum nitride ALD investigated by in-situ real-time ellipsometry and in-vacuo surface analysis

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

12th International Baltic ALD conference, At Helsinki, Finland, 12.-13.05.2014

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2014

Band/Vol.

Vortrag

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2014

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